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全自動(dòng)晶圓專(zhuān)用接觸角測(cè)量?jī)x對(duì)半導(dǎo)體晶圓的應(yīng)用
發(fā)布時(shí)間：2024-06-24 點(diǎn)擊次數(shù)：272
半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)要求品質(zhì)是非常高的，晶圓表面上的任何瑕疵污漬都會(huì)造成芯片的損失，所以需要用接觸角測(cè)量?jī)x檢測(cè)晶圓表面潤(rùn)濕性等來(lái)判斷晶圓表面是否達(dá)標(biāo)。接觸角（contact angle）：是指是指在氣、液、固交點(diǎn)處所的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的，接觸角是如今表征材料表面潤(rùn)濕性能的主要手段。
全自動(dòng)晶圓專(zhuān)用接觸角測(cè)量?jī)x——專(zhuān)為晶圓深度定制的一臺(tái)全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x，廣泛用于晶圓的潤(rùn)濕性能分析與研究，是一臺(tái)快速測(cè)量晶圓多點(diǎn)位潤(rùn)濕性分析測(cè)量的設(shè)備。樣品臺(tái)專(zhuān)為晶圓設(shè)計(jì)，可適應(yīng)6-12寸的晶圓，具備四向?qū)χ泄δ堋＞仃囆投帱c(diǎn)測(cè)試，測(cè)試精準(zhǔn)簡(jiǎn)單方便。自動(dòng)定位-滴液-接液-自動(dòng)測(cè)量-自動(dòng)換位。一次測(cè)試點(diǎn)位多達(dá)50+個(gè)，可在原圖上直接顯示數(shù)據(jù)并保存。
全自動(dòng)晶圓專(zhuān)用接觸角測(cè)量?jī)x對(duì)半導(dǎo)體晶圓的應(yīng)用：
1、液體在固體表面的接觸角和潤(rùn)濕性：包括靜態(tài)接觸角，動(dòng)態(tài)接觸角（前進(jìn)/后退接觸角），接觸角滯后性等；
2、液滴在固體表面的起始滑動(dòng)角（或滾動(dòng)角），滑動(dòng)速度；（擴(kuò)張功能）3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤(rùn)濕行為；
4、固體表面自由能（surface free energy），及其各種分子相互作用力（如極性/非極性）的貢獻(xiàn)；
5、液體在固體表面的粘結(jié)力（adhesion）、滯留力（retention）等；
6、固體表面在經(jīng)過(guò)清洗、處理后的結(jié)果（效果）評(píng)估：如潔凈度（cleanliness），均勻性（homogeneity），和表面能改變幅度等；
7、液/流-體系的表面/界面張力：包括靜、動(dòng)態(tài)表/界面張力的測(cè)量；
8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現(xiàn)場(chǎng)、在線、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)；
9、表面活性物質(zhì)（如表面活性劑）臨界膠團(tuán)溶度（CMC）的測(cè)量：包括全自動(dòng)CMC測(cè)量，全自動(dòng)有關(guān)配方的篩選和優(yōu)化；
10、表面活性物質(zhì)在界面的吸附、排列、取向、松弛等現(xiàn)象的研究；
11、液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性：如乳狀液／泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液/流/固-體系相關(guān)的界面現(xiàn)象和過(guò)程的測(cè)量和分析等。
