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自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x可判斷晶圓表面是否達(dá)標(biāo)
發(fā)布時(shí)間：2024-05-28 點(diǎn)擊次數(shù)：281
半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)要求品質(zhì)是非常高的，晶圓表面上的任何瑕疵污漬都會(huì)造成芯片的損失，所以需要用接觸角測(cè)量?jī)x檢測(cè)晶圓表面潤(rùn)濕性等來(lái)判斷晶圓表面是否達(dá)標(biāo)。北斗儀器接觸角測(cè)量?jī)x專為晶圓深度定制的一臺(tái)全自動(dòng)接觸角測(cè)量?jī)x，廣泛用于晶圓的潤(rùn)濕性能分析與研究，是一臺(tái)快速測(cè)量晶圓多點(diǎn)位潤(rùn)濕性分析測(cè)量的設(shè)備。
晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x樣品臺(tái)可適應(yīng)6-12寸的晶圓，具備四向?qū)χ泄δ?。矩陣型多點(diǎn)測(cè)試，測(cè)試精準(zhǔn)簡(jiǎn)單方便。自動(dòng)定位-滴液-接液-自動(dòng)測(cè)量-自動(dòng)換位。一次測(cè)試點(diǎn)位多達(dá)50+個(gè),可在原圖上直接顯示數(shù)據(jù)并保存。測(cè)試結(jié)果可直接保存在陣列圖上。批量方案設(shè)置功能，可保存多個(gè)測(cè)量方案，一次保存，終身無(wú)需再設(shè)定?？呻S時(shí)調(diào)取。
1、精細(xì)機(jī)械：系統(tǒng)的框架選用高質(zhì)量的進(jìn)口高強(qiáng)度氧化保護(hù)鋁型材并烤漆處理，所有的其它主要組件也都是由鋁合金，不銹鋼和銅合金通過(guò)精密制作而成。保證儀器極強(qiáng)的穩(wěn)定性。
2、精密定位：系統(tǒng)所有的線性移動(dòng)單元，包括三維樣品臺(tái)（xy-軸），(Z-軸)注射器/針頭的移動(dòng)調(diào)節(jié)，均是由直線銅齒條和精密燕尾槽驅(qū)動(dòng)，確保傳動(dòng)平穩(wěn)、輕松和精細(xì)。
3、成像系統(tǒng)：采用了行曝光高分辨率CMOS圖像傳感器配合0.7-4.5遠(yuǎn)心輪廓鏡頭。保證最佳的成像效果。同時(shí)亮度連續(xù)數(shù)字可調(diào)的高強(qiáng)度背光冷光源為成像提供了均勻的背景照明。優(yōu)質(zhì)鏡頭和高分辨率相機(jī)能夠以理想的尺寸和亮度在圖像中顯示出液滴，即使是非常小的液滴。
4、領(lǐng)先的軟件平臺(tái)：軟件是整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的靈魂和大腦。CAV2.0軟件為用戶提供了范圍廣泛的功能和特性，而且其中的許多項(xiàng)目在這一領(lǐng)域均是出類拔萃。作為一光學(xué)方法，測(cè)量的精度取決于成像的質(zhì)量和后著的處理、分析和計(jì)算方法。
5、提供德國(guó)進(jìn)口的接觸角測(cè)量校準(zhǔn)樣，確保儀器的精準(zhǔn)性，角度校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)片5°、8°、30°（選配）；60°、90°、120°（選配）。
6、國(guó)內(nèi)首創(chuàng)基線自動(dòng)傾斜功能，可修正由于樣品傾斜或機(jī)臺(tái)傾斜時(shí)的差異。
7、動(dòng)態(tài)拍攝、視頻快速測(cè)試數(shù)據(jù)，可以連續(xù)性記錄測(cè)試接觸角的變化，再由軟件自動(dòng)批量擬合。
簡(jiǎn)單點(diǎn)說(shuō)就是使用晶圓專用接觸角測(cè)量?jī)x測(cè)量晶圓材料表面的鋪展、滲透、吸收等潤(rùn)濕行為，測(cè)量靜、動(dòng)態(tài)接觸角、測(cè)量分析固體的表面自由能、液體的界面和表面張力、全自動(dòng)注射系統(tǒng)、前進(jìn)后退角、滾動(dòng)滑落角等全面功能。
