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接觸角測試儀測量晶圓表面潤濕性至關(guān)重要

發(fā)布時(shí)間:2024-10-09 點(diǎn)擊次數(shù):82

  晶圓制造是一種高精度、高技術(shù)的制造過程,每一個(gè)步驟都需要嚴(yán)格控制條件,確保芯片的質(zhì)量符合要求。但是在晶圓制造中有一個(gè)很容易被人忽視的細(xì)節(jié),那就是晶圓表面的潤濕性。在半導(dǎo)體晶圓材料的生產(chǎn)和制造過程中,表面的潤濕性是至關(guān)重要的。例如,當(dāng)晶圓上的微電子器件需要被沉積或鍍膜時(shí),若表面潤濕性不良,則會導(dǎo)致涂層厚度不均或成膜缺陷等問題。

  除了沉積與鍍膜問題,在清洗上,晶圓表面的潤濕性對晶圓也會有一定的影響,親水性表面可以讓晶圓與清洗液更好地進(jìn)行接觸,達(dá)到更理想有效的清洗效果;反之,疏水性表面與清洗液接觸則會形成水珠狀液滴,造成清洗效果不佳,會對后續(xù)的工藝造成不良影響,導(dǎo)致?lián)p失。因此,表面接觸角的測量成為了晶圓制造過程中不可或缺的步驟。

北斗晶圓接觸角測試儀有以下優(yōu)勢:

1.樣品臺專為晶圓設(shè)計(jì),可適應(yīng)6-12寸的晶圓,具備四向?qū)χ泄δ堋?/span>

2.矩陣型多點(diǎn)測試,測試精準(zhǔn)簡單方便。自動定位-滴液-接液-自動測量-自動換位。

3.一次測試點(diǎn)位多達(dá)50+個(gè),可在原圖上直接顯示數(shù)據(jù)并保存。

4.測試結(jié)果可直接保存在陣列圖上。

5.批量方案設(shè)置功能,可保存多個(gè)測量方案,一次保存,終身無需再設(shè)定。可隨時(shí)調(diào)取。

  這是北斗儀器專為晶圓深度定制的一臺全自動接觸角測試儀,廣泛用于晶圓的潤濕性能分析與研究,是一臺快速測量晶圓多點(diǎn)位潤濕性分析測量的設(shè)備。

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