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全自動晶圓專用接觸角測量儀對半導(dǎo)體晶圓的應(yīng)用
發(fā)布時間：2024-06-24 點擊次數(shù)：275
半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)要求品質(zhì)是非常高的，晶圓表面上的任何瑕疵污漬都會造成芯片的損失，所以需要用接觸角測量儀檢測晶圓表面潤濕性等來判斷晶圓表面是否達(dá)標(biāo)。接觸角（contact angle）：是指是指在氣、液、固交點處所的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的，接觸角是如今表征材料表面潤濕性能的主要手段。
全自動晶圓專用接觸角測量儀——專為晶圓深度定制的一臺全自動接觸角測量儀，廣泛用于晶圓的潤濕性能分析與研究，是一臺快速測量晶圓多點位潤濕性分析測量的設(shè)備。樣品臺專為晶圓設(shè)計，可適應(yīng)6-12寸的晶圓，具備四向?qū)χ泄δ?。矩陣型多點測試，測試精準(zhǔn)簡單方便。自動定位-滴液-接液-自動測量-自動換位。一次測試點位多達(dá)50+個，可在原圖上直接顯示數(shù)據(jù)并保存。
全自動晶圓專用接觸角測量儀對半導(dǎo)體晶圓的應(yīng)用：
1、液體在固體表面的接觸角和潤濕性：包括靜態(tài)接觸角，動態(tài)接觸角（前進(jìn)/后退接觸角），接觸角滯后性等；
2、液滴在固體表面的起始滑動角（或滾動角），滑動速度；（擴(kuò)張功能）3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤濕行為；
4、固體表面自由能（surface free energy），及其各種分子相互作用力（如極性/非極性）的貢獻(xiàn)；
5、液體在固體表面的粘結(jié)力（adhesion）、滯留力（retention）等；
6、固體表面在經(jīng)過清洗、處理后的結(jié)果（效果）評估：如潔凈度（cleanliness），均勻性（homogeneity），和表面能改變幅度等；
7、液/流-體系的表面/界面張力：包括靜、動態(tài)表/界面張力的測量；
8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現(xiàn)場、在線、實時監(jiān)測；
9、表面活性物質(zhì)（如表面活性劑）臨界膠團(tuán)溶度（CMC）的測量：包括全自動CMC測量，全自動有關(guān)配方的篩選和優(yōu)化；
10、表面活性物質(zhì)在界面的吸附、排列、取向、松弛等現(xiàn)象的研究；
11、液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性：如乳狀液／泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液/流/固-體系相關(guān)的界面現(xiàn)象和過程的測量和分析等。
