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自動接觸角測量儀可判斷晶圓表面是否達標(biāo)
發(fā)布時間：2024-05-28 點擊次數(shù)：287
半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)要求品質(zhì)是非常高的，晶圓表面上的任何瑕疵污漬都會造成芯片的損失，所以需要用接觸角測量儀檢測晶圓表面潤濕性等來判斷晶圓表面是否達標(biāo)。北斗儀器接觸角測量儀專為晶圓深度定制的一臺全自動接觸角測量儀，廣泛用于晶圓的潤濕性能分析與研究，是一臺快速測量晶圓多點位潤濕性分析測量的設(shè)備。
晶圓專用接觸角測量儀樣品臺可適應(yīng)6-12寸的晶圓，具備四向?qū)χ泄δ?。矩陣型多點測試，測試精準(zhǔn)簡單方便。自動定位-滴液-接液-自動測量-自動換位。一次測試點位多達50+個,可在原圖上直接顯示數(shù)據(jù)并保存。測試結(jié)果可直接保存在陣列圖上。批量方案設(shè)置功能，可保存多個測量方案，一次保存，終身無需再設(shè)定?？呻S時調(diào)取。
1、精細機械：系統(tǒng)的框架選用高質(zhì)量的進口高強度氧化保護鋁型材并烤漆處理，所有的其它主要組件也都是由鋁合金，不銹鋼和銅合金通過精密制作而成。保證儀器極強的穩(wěn)定性。
2、精密定位：系統(tǒng)所有的線性移動單元，包括三維樣品臺（xy-軸），(Z-軸)注射器/針頭的移動調(diào)節(jié)，均是由直線銅齒條和精密燕尾槽驅(qū)動，確保傳動平穩(wěn)、輕松和精細。
3、成像系統(tǒng)：采用了行曝光高分辨率CMOS圖像傳感器配合0.7-4.5遠心輪廓鏡頭。保證最佳的成像效果。同時亮度連續(xù)數(shù)字可調(diào)的高強度背光冷光源為成像提供了均勻的背景照明。優(yōu)質(zhì)鏡頭和高分辨率相機能夠以理想的尺寸和亮度在圖像中顯示出液滴，即使是非常小的液滴。
4、領(lǐng)先的軟件平臺：軟件是整個測量系統(tǒng)的靈魂和大腦。CAV2.0軟件為用戶提供了范圍廣泛的功能和特性，而且其中的許多項目在這一領(lǐng)域均是出類拔萃。作為一光學(xué)方法，測量的精度取決于成像的質(zhì)量和后著的處理、分析和計算方法。
5、提供德國進口的接觸角測量校準(zhǔn)樣，確保儀器的精準(zhǔn)性，角度校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)片5°、8°、30°（選配）；60°、90°、120°（選配）。
6、國內(nèi)首創(chuàng)基線自動傾斜功能，可修正由于樣品傾斜或機臺傾斜時的差異。
7、動態(tài)拍攝、視頻快速測試數(shù)據(jù)，可以連續(xù)性記錄測試接觸角的變化，再由軟件自動批量擬合。
簡單點說就是使用晶圓專用接觸角測量儀測量晶圓材料表面的鋪展、滲透、吸收等潤濕行為，測量靜、動態(tài)接觸角、測量分析固體的表面自由能、液體的界面和表面張力、全自動注射系統(tǒng)、前進后退角、滾動滑落角等全面功能。
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一般的動態(tài)水滴角測試步驟
