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接觸角測試儀測量半導(dǎo)體晶圓表面的實(shí)操過程
發(fā)布時(shí)間：2024-02-28 點(diǎn)擊次數(shù)：413
接觸角測試儀是一種用于測量液滴與固體表面接觸角的儀器，可以用于研究半導(dǎo)體晶圓的表面潤濕性能。接觸角是液滴與固體表面接觸時(shí)形成的角度，該角度反映了晶圓表面的親水性或疏水性，以及液體在固體上的潤濕性，包括潤濕速度的分析。通過晶圓接觸角測試儀來測量半導(dǎo)體晶圓，常用于實(shí)際的操作過程中：
1、首先，準(zhǔn)備好半導(dǎo)體晶圓樣品。確保表面是干凈的，表面無塵和無污垢。
2、液滴準(zhǔn)備，一般以純凈水，蒸餾水為宜，液滴是純凈的，沒有雜質(zhì)。水通常用于測量表面的親水性，而其他液體可以用于研究疏水性表面。
3、水滴角在滴液過程中，一般以2微升-5微升液滴為宜，且通過上升樣品平臺(tái)來接液，液滴不會(huì)過度擴(kuò)散或過于局部，也不因重力影響而變形。
4、接觸角的相機(jī)拍攝液滴與樣品表面的圖像。接觸角測試儀的實(shí)際 擬合過程，確保清晰可見液滴的形狀。
5、分析軟件或工具測量液滴與固體表面的接觸角。這個(gè)角度表示了液滴對固體表面的潤濕性。根據(jù)接觸角的大小，你可以了解樣品表面的親水性或疏水性， 以及液滴在表面上的潤濕性質(zhì)。同時(shí)，還可以通過動(dòng)態(tài)的擬合方法，量化水滴角的變化。
晶圓樣品可取不同的點(diǎn)多次測量以獲得準(zhǔn)確的接觸角值。半導(dǎo)體晶圓的接觸角測量是為了確保在制備半導(dǎo)體器件時(shí)，液體或氣體與晶圓表面的接觸能夠被精確控制和理解。接觸角是一個(gè)描述液體或氣體與固體表面之間相互作用的物理性質(zhì)的重要參數(shù)，通常用來評(píng)估液體在固體表面上的潤濕性。
